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ミスト発生装置
清浄空間での可視化トレーサー発生装置
クリーンルーム内の気流可視化には、従来のトレーサー(スモークや粒子)では汚染の原因となります。このミスト発生器はHEPAフィルターを通したエアーと純水・精製水を用いたミストをトレーサーとすることで環境を汚染することなく気流の評価ができます。
可視化技術の見える化

特長

クリーンな環境を汚染しないミスト
クリーンルーム内の気流可視化には、従来のトレーサー(スモークや粒子)では汚染の原因となります。このミスト発生器はHEPAフィルターを通したエアーと純水・精製水を用いたミストをトレーサーとすることで環境を汚染することなく気流の評価ができます。
オプションを交換し、より精密な可視化が可能
オプションのULPAフィルターに交換する事により、ISOクラス4(クラス10)以下の気流にも使用可能。フレキシブルチュームにより、機器周辺など局所気流の状態も可視化可能。
気流の3次元可視化
多孔式ノズル(オプション)により、気流を3次元的にとらえる事も可能です。
気流の2次元断面の観察が可能
蒸発が極めて早いため、観測空間はノズルから1m~2mとなります。レーザーシート光源を使用すると微細な粒子まで可視化できるため、より広範囲の可視化ができます。さらに気流の2次元断面を観察できるので、乱れの状態が把握しやすくなります。より高い環境評価を行うことが可能です。
クリーンルームに最適
クリーンルームのダウンフロー評価用に最適な仕様となっておりますが、一般空間では煙発生器の方が浮遊し続け、また追随性も高いため推奨製品となります。

主な用途

  • クリーンルーム内のダウンフロー評価
  • 装置内への気流巻き込み評価

サンプル動画

仕様

ミスト発生装置
本体外形寸法325L×170W×252H 電源AC100V 50/60/Hz
ノズル1点噴出し型 300mm延長パイプ
多孔式    500mm延長パイプ
消費電力100W
温度条件5℃~40℃
ミスト発生量MAX. 0.4L/h フィルター0.3μm 99.97%以上
風量可変0~10L/min 重量約9kg

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