微粒子可視化システム　ParticleViewer

微粒子可視化システム Particle Viewer PV2シリーズ

ISO14644-17 新規格対応
クリーンルームや製造現場で浮遊・堆積するパーティクルを可視化することで歩留まり改善を図れます

微粒子・クリーンルームの可視化

飛沫・エアロゾルの可視化とは

目に見えないゴミ（微粒子）でお困りではありませんか？

半導体、精密機器、電子部品、食品、薬品など各分野のクリーンルームではゴミなど異物の付着が歩留まりに直結します。測定方法としてパーティクルカウンターでの計測が一般的ですが、一点計測では構造的な評価が難しく、パーティクルの浮遊状況を広く把握することが困難です。また0.1μ前後の粒子径には高精度ですが、粒径が5μを超えてきますと実際に存在している個数とカウンターの数値に整合性が取れなくなります。可視化してみますとクラス1,000と思っていた環境が、実は10,000に等しいクラスのコンタミ状況だったということも多く事例があります。
微粒子可視化システムでは非接触でエリア評価が可能ですので、異物の発塵から浮遊、堆積、再飛散までの各プロセスを文字通り一目瞭然に可視化します。
作業環境に異物がどのくらいあるのか?　異物はどこからやってくるのか?　発塵源は?　どのような改善を行い管理するべきか、容易に対策を立てることが可能になりますので、清浄度改善の作業効率そのものを飛躍的に高めることができます。

微粒子可視化システムParticle Viewer 特長

従来の可視化方法に加え独自のリアルタイム画像処理技術を開発、超高感度の可視化検証が可能。
パーティクルの可視化だけでは無く、浮遊しているパーティクルで定性的な気流評価も可能。
現場運用を踏まえユーザビリティを追及、直感操作が可能になり、カメラレンズの調整も簡素化。
環境に合わせ手軽に撮影モードをカスタムでき、保存と読み込みも専用ファイルにて簡単管理。
微粒子の自動抽出機能を追加し、粒子数算出や時系列グラフ化も容易です。
インターフェースにUSB3.0を採用し、業界最小最軽量を実現。
手軽に設置ができ、専用ケースで持ち運びも容易。海外への持ち出しを踏まえた運用ができます。
安全基準によりレーザーの運用ができない環境用にLED光源での微粒子可視化を実現
室内灯下や反射物が多い環境でも微粒子を検出しやすい光学フィルターや画像処理なども充実。多様な環境でのパーティクル測定が可能です。

微粒子可視化システムParticle Viewer 仕様

モデル	光源タイプ	波長	入力電圧
PV2-Ⅱ	緑色レーザー２W出力	532nm	※AC100-240V
PV2-Ⅳ	緑色レーザー４W出力	532nm	※AC100-240V
PV2-VLD	赤色レーザー5W出力	638nm	AC100V
PV2-XLD	赤色レーザー10W出力	638nm	AC100V
PV2-L	特殊LED光源	---	※AC100-240V

※海外は不安定な電源環境が多く変圧器等の運用を推奨

目的に応じて選べる光源3種類

PV2-Ⅱ（2W出力）
PV2-Ⅳ（4W出力）
*緑色レーザーシート光源
目視確認にも最適な被視感度に優れた緑色レーザー
PV2-VLD（5W出力）
PV2-XLD（10W出力）
*赤色レーザーシート光源
均一なコントラストが得られる高安定赤色レーザー
PV2-L
*特殊LED光源
堆積粒子や粗大粒子にLED光源

システム構成

レーザーシート光源モデル（PV2-Ⅱ、PV2-Ⅳ、PV2-VLD）
◇レーザー光源	◇専用高感度カメラ	◇カメラレンズ	◇接写リング
◇微粒子可視化専用ソフトウェア	◇光源用固定三脚	◇撮影用固定三脚	◇撮影解析用専用端末
◇干渉フィルター	◇照射角度可変ユニット	◇保護メガネ	◇収納ケース

レーザー光源モデル収納イメージ

LED光源モデル（PV2-L）
◇特殊LED光源	◇専用高感度カメラ	◇カメラレンズ	◇接写リング
◇微粒子可視化専用ソフトウェア	◇光源用固定三脚	◇撮影用固定三脚	◇撮影解析用専用端末
◇収納ケース

LED光源モデル収納イメージ

業界最小最軽量で持ち運びも容易。多様な現場間での可視化もより手軽に。

参考重量：PV2-L　ケース込み11kg

※持ち運びイメージ
撮影解析用専用端末は別途

レーザーキャリーケース外観
レーザー光源モデルはキャリーケース付きになり、
台車での運搬も必要なし。ケースごと楽に移動が可能です。

機能一覧

リアルタイム画像処理（背景除去、軌跡表示、微粒子像強調抽出）
輝度累積表示による発塵元や多塵エリア特定機能
粒子数カウント(二値化,自動判定,グラフ,CSV出力)
輝度面積値出力(CSV出力))
軌跡移動量算出
カメラ設定、画像処理内容の一括ファイル保存と読込

撮影した粒子像を二値化処理し粒子数の変化を手軽にグラフ化できます。
時系列の変化が分かりやすく、発塵のタイミングを見える化できます

微粒子可視化システムParticle Viewer 主な用途

真空成膜装置の可視化

リチウムイオン二次電池材料の飛散状況可視化

クリーンルームの発塵・浮遊の状態を可視化
塗装ブースのブツによる歩留まり改善
半導体や液晶分野における成膜装置内の異物対策
製薬向け成分飛散の可視化や封じ込め検証
搬送機・吸塵器・チャンバー内の異物問題
プリンターのトナーや花粉などの可視化
リチウムイオン電池の製造において金属粉が混入対策に
光学フィルムの付着微粒子や周辺浮遊状況を可視化

微粒子可視化システムParticle Viewer 可視化事例

大きさ1μmの微粒子を見える化▶画像処理で粒子数カウントまで【微粒子可視化】

クリーンベンチ内で発生させた大きさ1μmの微粒子を可視化。
可視化した微粒子を画像解析でカウントします。

クリーン度の高いベンチで、粒径1μmの微粒子を発生させて超高感度カメラで撮影します。
撮影された粒子像を、条件ごとに画像解析を行って粒子数をカウントした事例です。

クリーンルームの異物を可視化【手袋からの発塵】

クリーンルームで使用する手袋からの発塵を可視化しています
微粒子可視化システムを使用して微小な粒子を高感度に見える化します
動画ではクリーンルームで使用する手袋と一般的なニトリル手袋を比較
またクリーンルーム内の作業で起こる汚染について紹介しています

歯科治療中に飛散するミストを見える化【飛沫感染のリスクを可視化】
撮影協力：藤田医科大学医学部歯科・口腔外科学講座
小林義和先生
金珉廷先生

歯科治療中に飛散してしまうミストを見える化しています。
歯科治療では医療従事者の方や患者は飛沫感染のリスクがあります。
飛散するミストは「バキューム」を使って"吸引"をしていますがミスト自体を可視化をすることでその効果を検証してみました。

粗大粒子10μの落下吸引検証微粒子可視化システムの有効性 ISO14644-17

パーティクルカウンターの吸引口付近で10μの粒子を空間中に散布し可視化しました。ノズルから距離の離れた粗大粒子は吸引されることなく落下していることが分かります。微粒子可視化システムは粒径の大きいサイズにも対応しパーティクルカウンターでは吸引出来ない粒径・範囲をまとめて可視化することが可能です。

微粒子可視化システムパーティクルカウンターによる可視化性能確認

目に見えない異物を可視化し撮影することに特化した微粒子可視化システムでどの程度の粒径まで可視化し撮影することが出来るのかパーティクルカウンターとのデータ比較を行いました。

装置内の微粒子浮遊状況を可視化

クリーンルームでは現場空間と生産装置内部の2種類の可視化を行うことが基本になります。局所空間では比較的清浄度が維持しやすいですが、装置の挙動で部品間でスレなどがあると発塵が問題になります。画像は1μ以下の微細粒子の飛散状況を可視化しております。

微粒子可視化システムParticle Viewer 標準粒子100ナノを可視化撮影

※生産現場の気流環境中の浮遊異物の可視化につきましては、1μ以上の粒径を可視化の目安としてご案内しております。

アメリカ国立標準技術研究所で標準として採用されている100ナノの粒子を液相に混入させ可視化撮影を行いました。レーザーシート上を目視しても肉眼では全く粒子が視認できませんが、微粒子可視化システムでは問題なく可視化撮影が出来ています。空気中の微粒子可視化だけでは無く、液中の微粒子可視化も手軽に行えます。液中パーティクルカウンターでは難しい広範囲のエリアを漏れなく可視化計測することが出来ます。

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