ミスト発生器

クリーンルームの気流管理に最適

クリーンルーム用トレーサー発生装置「ミスト発生器」は、コンタミの影響の少ないミストを発生し、PIVや気流可視化のトレーサーに最適です。主な特長として、HEPAフィルターを通した清浄なミストの発生、多孔式ノズルによる気流への厚みの付与、レーザーシート光源と組み合わせての気流微細構造の把握が可能です。クリーンルーム環境下での気流管理を実現し、流体工学の観点から生産品質の向上を支援します。

クリーンルーム内の気流可視化イメージレーザーシート光源との組み合わせによる可視化

ミスト発生器を使用して、クリーンルーム内の気流を可視化した様子です。
清浄度の高いミストを発生させ、レーザーシート光源「PIV Laser G series」で可視化を行った事例です。

➡PIVシステム2D2Cのカタログをダウンロードする

ミスト発生の特長特長・機能

コンタミの影響が少ない
クリーンルームでは、気流用トレーサーとなるスモークでは汚染の原因となります。ミスト発生器は、清浄度の高いミストでコンタミを最小限に。

気流を3次元的に可視化
多孔式ノズルの採用で、気流に厚みを持たせ、複雑な流れも可視化が可能です。

レーザーシート光源との組み合わせ
発生させたミストにレーザーシートを照射すれば、PIVによる気流の定量化も可能です。

オプションでクラス10にも対応
オプションのULPAフィルターへ交換すれば、ISOクラスⅣ4（クラス10）の気流にも使用できます。

【関連記事】
クリーンルームの異物対策【目的・用途別の可視化技術】
あらゆる分野で異物の付着による製品品質の低下が問題となっています。品質や安全性に影響を及ぼす生産工程の異物対策について、可視化製品による見える化のニーズは年々高まってきています。パーティクルカウンターのようなセンサー系の...「クリーンルームの異物対策」の続きを読む

製品概要仕様

集塵効率	0.3μm粒子で99.97％以上
集塵要素	HEPAフィルター
処理風量	可変 11 ～ 40 L / min
ミスト発生量	最大0.15 L / h
温度条件	18 ～ 28℃ ※屋内環境
電源	AC100V 1φ 50 / 60 Hz
消費電力	32W
重量	約5kg
本体構造	ステンレス製（SUS304）ヘアーライン仕上げ
外形寸法	W185 × D250 × H300[mm]
付属品	・導霧パイプ（1ｍ）・標準ノズル・延長パイプ（30cm）・ロート・多孔ノズル（30cm、φ4穴）・ポリタンク（1000mL）