微粒子可視化システムConcept RED PV2-L-CA

PV2-L-CA製品写真

”ISO14644-77対応  一歩先へ進む、微粒子の可視化技術”
「微粒子可視化システムConcept RED PV2-L-CA」は、業界初、赤色LED光源を駆使した微粒子可視化システムです。10年以上の経験とノウハウを経て、製造装置の動作や外乱光の影響を軽減した、新たな微粒子可視化システムを開発しました。このシステムを用いれば、あなたの生産現場でも、迅速かつ正確な微粒子の計測と管理が可能になります。

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様々な環境で微粒子を捉える、新しい「微粒子可視化」 業界初の赤色LED光源仕様

クリーンルーム内で半導体の検査
手袋からの発塵を可視化
作業台に付着した微粒子を可視化

カトウ光研の微粒子可視化システムの歴史は10年以上にわたります。その間、最も重視したのは「生産現場が何を求めているか?」その追求の結果、新しい微粒子可視化システムが誕生しました。

従来のシステムは粒径対応の計測性能に優れていましたが、製造装置の動作や外乱光の影響により計測が安定しない場合がありました。「微粒子可視化システムConcept RED PV2-L-CA」ではそれらの課題に対処。光源波長とカメラ感度のマッチング、背景輝度に影響を受けない可視化原理を確立しました。既に可視化できていた箇所の感度は更に向上。また、これまで計測が困難だとされていた環境でも、微粒子の可視化が可能となりました。

可視化できる環境を選ばない理由 赤色LEDのスペクトル分布

クリーンルーム室内灯が白色

室内が明るい環境

室内照明と赤色LEDのスペクトル分布

室内照明と「PV2-L-CA」赤色LEDのスペクトル分布

「微粒子可視化システムConcept RED PV2-L-CA」は、室内灯の波長と異なる特性を持つ赤色LED光源を使用しています。光学フィルターで室内灯の影響をカットすることで、微粒子を効率よく可視化することができます。また、赤色LEDの波長は、システム構成の「高感度カメラ」の分光感度特性に合わせた赤色のため、従来の光源と比べより明るく撮影ができます

生産現場を支える「微粒子可視化システム」の適用範囲 用途・事例

クリーンルーム内の作業の様子
半導体製造のロボット動作環境
自動車の塗装ブース

レーザーの運用基準が難しい生産現場
微粒子可視化システムConcept REDは、レーザーの運用が難しい生産現場での運用。


塗装ブース
車の塗装ブース内の微粒子の存在を確認し、その影響を最小限に抑えることが可能。


明るい環境
照明が消せない明るい環境。


感光材料取り扱い現場
イエローランプが室内灯の感光材料を取り扱う現場。


反射光対策が必要な環境
製造装置内など、光源由来の反射光対策が必要な環境。


白壁の環境
バイオクリーンルームや手術室など、白い壁の環境。

浮遊する微粒子をカウント 計測機能

画像から粒子数をカウントして、時系列グラフと同期再生

粒子数カウント

Particle Viewer PV2 seriesソフトウェア起動画面

オフラインの計測機能として、画像から微粒子の数をカウントできます。カウントした微粒子を時系列のグラフで表示して、現象動画と同期再生が可能です。発塵のタイミングを簡単に分析できます

製品概要 システム構成・仕様・可視化撮影のイメージ

  1. システム構成
  2. 仕様
  3. 可視化撮影のイメージ

タブ内容を展開する(公開サイトには表示されません)

タブ1(公開サイトには表示されません)

導入したその日から計測可能。オールインモデル

微粒子可視化システムConcept RED PV2-L-CA

  • 赤色LED光源
  • 専用高感度カメラ
  • カメラレンズ
  • 接写リング
  • 光学フィルター
  • 三脚×2(赤色LED光源用、カメラ用)
  • ノートPC
  • 微粒子可視化用ソフトウェア「Particle Viewer」
  • 収納ケース
微粒子システムConcept_RED_製品構成一式

業界「最小最軽量」で持ち運びも容易

微粒子可視化システムの持ち運びイメージ_ケースに収納

持ち運びのイメージ
※PC・三脚は収納できません。

収納ケースの外観

収納ケース外観
ケースごとの運搬も楽に行えます。

タブ1 終わり(公開サイトには表示されません)

タブ2(公開サイトには表示されません)

モデル PV2-L-CA
光源 赤色LED光源
照射角度可変 光源に内蔵
光学フィルター 透過波長:624nm(半値全幅10nm)

専用高感度カメラ

有効画素数

310万画素
イメージセンサー モノクロCMOS 1/1.8型
インターフェース USB3.0
フレームレート(fps) 選択可能なfps
310万画素時:120, 60, 10, 5, 1
170万画素時:170, 80, 10, 5, 1
30万画素時  :360, 180, 10, 5, 1

レンズ / 接写リング / 三脚 / PC / 収納ケース

カメラレンズ 6倍手動ズームレンズ(焦点距離:11.5~69mm)
※ズームレンズは、選択した解像度のモードによってケラレ(画面の四隅が暗くなる)が発生する場合があります。
予めご了承ください。
接写リング 7点セット(40, 20, 10, 5, 2, 1, 0.5mm)
三脚 耐荷重4kg(2本:レーザーシート光源用、専用高感度カメラ用)
ノートPC ライブ画像、録画、再生、画像処理用:Windows OS 64bit
収納ケース APA複合積層板構造、キャリーハンドル、キャスター付

ソフトウェア(微粒子可視化用)

画像処理(リアルタイム) ①スルーモード ②軌跡モード ③強調モード(リアルタイムで切替可能)
・ROI設定 ・撮影設定ファイル保存読込 ・差分による背景処理 ・ノイズリダクションフィルター ・凸部抽出
画像処理(オフライン) ・リアルタイム処理の再現 ・ROI設定 ・Pseudo-color表示 ・ノイズリダクションフィルター ・凸部抽出
計測(オフライン) 粒子数カウント(ニ値化、自動判定、グラフ表示)
・キャリブレーション機能 ・CSV出力 移動量算出(簡易手動計測)

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タブ3(公開サイトには表示されません)

自由度の高い配置が可能

赤色LED光源の側方から可視化

側方から

赤色LED光源の前方から可視化

前方から

赤色LED光源の後方から可視化

後方から

微粒子可視化システムConcept RED PV2-L-CAでは、自由度の高い設置で可視化撮影が行えます。現場環境に合わせて、最適な配置で高い可視化性能を維持します。

微細な粒子は平行光、広い視野角は拡散光と切り替えが可能

赤色LEDを集光させて平行な光を照射

光を集光させて平行な光

赤色LEDを拡散させて照射

拡散光の状態

可視化したい粒子のサイズ、範囲に応じて赤色LED光源の照射範囲を切り替えることができます。集光させると平行な光が形成され、より小さい粒子を捉えることが可能です。また、拡散光に切り替えることで、広い範囲の可視化が行えます。

タブ3 終わり(公開サイトには表示されません)

ここまで
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