ミスト発生器

ミスト発生器

ミスト発生器

クリーンルーム内の気流管理に必須。ミスト発生器
クリーンルーム用トレーサー発生装置「ミスト発生器」は、コンタミの影響の少ないミストを発生し、PIVや気流可視化のトレーサーに最適です。主な特長として、HEPAフィルターを通した清浄なミストの発生、多孔式ノズルによる気流への厚みの付与、レーザーシート光源と組み合わせての気流微細構造の把握が可能です。クリーンルーム環境下での気流管理を実現し、流体工学の観点から生産品質の向上を支援します。

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クリーンルーム内の気流可視化イメージ レーザーシート光源との組み合わせによる可視化

ミスト発生器を使用して、クリーンルーム内の気流を可視化した様子です。
清浄度の高いミストを発生させ、レーザーシート光源「PIV Laser G series」で可視化を行った事例です。

ミスト発生の特長 特長・機能

コンタミの影響が少ない
クリーンルームでは、気流用トレーサーとなるスモークでは汚染の原因となります。ミスト発生器は、清浄度の高いミストでコンタミを最小限に。


気流を3次元的に可視化
多孔式ノズルの採用で、気流に厚みを持たせ、複雑な流れも可視化が可能です。


レーザーシート光源との組み合わせ
発生させたミストにレーザーシートを照射すれば、PIVによる気流の定量化も可能です。


オプションでクラス10にも対応
オプションのULPAフィルターへ交換すれば、ISOクラスⅣ4(クラス10)の気流にも使用できます。

製品概要 仕様

集塵効率 0.3μm粒子で99.97%以上
集塵要素 HEPAフィルター
処理風量 可変 11 ~ 40 L / min
ミスト発生量 最大0.15 L / h
温度条件

18 ~ 28℃  ※屋内環境

電源 AC100V  1φ  50 / 60 Hz
消費電力 32W
重量 約5kg
本体構造 ステンレス製(SUS304) ヘアーライン仕上げ
外形寸法 W185 × D250 × H300[mm]
付属品

・導霧パイプ(1m)
・標準ノズル
・延長パイプ(30cm)
・ロート
・多孔ノズル(30cm、φ4穴)
・ポリタンク(1000mL)


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