ミスト発生器

クリーンルームの気流管理に最適
クリーンルーム用トレーサー発生装置「ミスト発生器」は、HEPAフィルターを通したミストを発生し、クリーンルーム内の気流可視化やPIV計測に使用する装置です。多孔式ノズルにより厚みのあるミストを発生させることで、気流の流れ方や広がりを観察しやすくなります。レーザーシート光源と組み合わせることで、室内気流や装置周辺の流れ、局所的な気流の可視化に活用できます。

クリーンルーム環境での気流確認、装置周辺の流れの把握、作業空間内の気流評価など、使用環境に応じた構成についてもご相談いただけます。

コンタミへの影響を抑えたミストを発生
クリーンルームでは、気流用トレーサーとなるスモークでは汚染の原因となります。ミスト発生器は、清浄度の高いミストでコンタミへの影響を抑えた可視化に活用できます。

厚みのあるミストで気流の広がりを可視化
多孔式ノズルを使用することで、気流に厚みを持たせた可視化が可能です。室内気流や装置周辺の流れの確認に活用できます。

レーザーシート光源との組み合わせ
発生させたミストにレーザーシート光を照射することで、気流の断面を可視化できます。PIV解析による速度場評価にも活用できます。

オプションでISOクラス4相当の環境にも対応
オプションのULPAフィルターへ交換することで、ISOクラス4（クラス10）相当の環境での使用にも対応できます。