ミスト発生器

クリーンルーム内の気流可視化に対応
ミスト発生器は、クリーンルームやクリーン機器内の気流を可視化するトレーサー発生装置です。HEPAフィルターでろ過した清浄空気と純水のミストを使用し、室内気流や装置周辺の流れを観察できます。

クリーンルーム内の気流可視化イメージ

ミスト発生器から供給したミストにレーザーシート光を照射し、クリーンルーム内の気流を可視化した事例です。気流の流れ方や広がりを目視・撮影で確認できます。

※撮影画像を用いたPIV解析にも対応できます。

クリーンルームの気流可視化に対応
HEPAフィルターでろ過した清浄空気と純水のミストを使用し、スモークによる汚染を避けたいクリーン環境での気流可視化に使用できます。

広がりのあるミストを供給
多孔式ノズルから幅のあるミストを供給し、室内気流や装置周辺の流れを広い範囲で観察できます。

レーザーシート光で気流の断面を可視化
発生させたミストにレーザーシート光を照射することで、気流の断面を可視化できます。撮影画像を用いたPIV解析にも活用できます。

ULPAフィルターでISOクラス4に対応
オプションのULPAフィルターへ交換することで、ISOクラス4（クラス10）環境での気流可視化に対応します。

集塵効率	0.3 μm粒子で99.97％以上
集塵要素	HEPAフィルター
処理風量	可変 11 ～ 40 L/min
ミスト発生量	最大0.15 L/h
温度条件	18 ～ 28℃ ※屋内環境
電源	AC100V 1φ 50/60 Hz
消費電力	32 W
重量	約5 kg
本体構造	ステンレス製（SUS304）ヘアーライン仕上げ
外形寸法	W185 × D250 × H300 mm
付属品	・導霧パイプ（1 m）・標準ノズル・延長パイプ（30 cm）・ロート・多孔ノズル（30 cm、φ4穴）・ポリタンク（1000 mL）使用水｜純水 ※お客様にてご準備ください

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煙発生器とはどのように使い分けますか？: ミスト発生器は、スモークによる汚染を避けたいクリーンルームやクリーン機器内の気流可視化に適しています。
一般環境での気流可視化には、煙発生器も選択肢となります。

ISOクラス4の環境でも使用できますか？: オプションのULPAフィルターへ交換することで、ISOクラス4（クラス10）環境での気流可視化に対応します。

PIV計測にも使用できますか？: はい。発生させたミストにレーザーシート光を照射して撮影することで、PIV解析用のトレーサーとして使用できます。
使用する光源やカメラを含めた構成についてもご相談いただけます。

製品についてのお問い合わせ
製品について確認したいことがございましたら、お問い合わせください。使用環境や気流可視化・PIVシステム構成についてのご相談も承ります。
仕様は、カタログでもご確認いただけます。

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